通訊員 蘇濱 淄博報道
淄博高新區(qū)與清華大學(xué)合作共建的國家MEMS(微機電系統(tǒng))研究院產(chǎn)業(yè)化基地一角
一枚小器件如何成就電子信息產(chǎn)業(yè)的大發(fā)展?記者在山東淄博高新區(qū)MEMS(微電子機械系統(tǒng))產(chǎn)業(yè)園找到了答案。MEMS是指結(jié)構(gòu)尺寸在微米量級的,由微機械機構(gòu)、微執(zhí)行器、微集成電路、微傳感器等器件組成的智能傳感微系統(tǒng),以體積小、功耗低、靈敏度高等優(yōu)點,成為智能終端的核心交互器件,可廣泛應(yīng)用于航空航天等高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。
淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園可以提供圍繞MEMS芯片、集成電路和半導(dǎo)體化合物等產(chǎn)業(yè)鏈上的研究、設(shè)計、制造、封裝、測試和應(yīng)用等技術(shù)服務(wù)和發(fā)展。目前,已有90余家企業(yè)入園發(fā)展,IC卡封裝測試和醫(yī)院智能護理通信領(lǐng)域的產(chǎn)能及銷量居全國首位。一枚小小的芯片讓淄博市電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展處于領(lǐng)先狀態(tài),未來淄博將著力打造全球領(lǐng)先的國際化MEMS產(chǎn)業(yè)示范基地和千億級產(chǎn)業(yè)園區(qū)。
“芯”機遇 院士帶動產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展
“MEMS產(chǎn)業(yè)本身就是信息產(chǎn)業(yè)的一個重要發(fā)展方向,也是傳感器和智能微系統(tǒng)行業(yè)顛覆性技術(shù)。”中國工程院院士、清華大學(xué)副校長尤政在接受記者采訪時表示。2010年,淄博高新區(qū)與清華大學(xué)機械工程學(xué)院成立MEMS產(chǎn)業(yè)研究院,共同搭建MEMS中試代工平臺、打造微系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化基地,引領(lǐng)國內(nèi)MEMS器件產(chǎn)業(yè)化進程。
目前,已有90余家企業(yè)入駐MEMS園區(qū),IC卡封裝測試和醫(yī)院智能護理通信領(lǐng)域的產(chǎn)能及銷量居全國首位
在淄博高新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園的展廳內(nèi),記者看到了MEMS研究院自主研發(fā)的三款芯片,MEMS陀螺儀實現(xiàn)了原有兩斤重的傳統(tǒng)機械陀螺儀的所有功能,它的芯片只有綠豆大小,但是探測觸角卻精準到納米級,達到了國際先進水平。
近年來,淄博始終與MEMS產(chǎn)業(yè)“新”“芯”相印,把MEMS產(chǎn)業(yè)作為做大做強電子信息產(chǎn)業(yè)的主攻方向來抓。2018年、2020年淄博高新區(qū)舉辦的兩屆MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇,成為了MEMS領(lǐng)域內(nèi)的盛會,國內(nèi)MEMS領(lǐng)域頂尖的技術(shù)專家、知名企業(yè)家、投資機構(gòu)負責(zé)人等150余人參加論壇,共商MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
自2018年首屆論壇以來,淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展呈現(xiàn)爆發(fā)式增長,每年產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值增速均超30%,汽車MEMS陀螺、壓電陶瓷MEMS器件、濺射薄膜工藝(淄博)協(xié)同創(chuàng)新中心項目等高端產(chǎn)業(yè)項目落地園區(qū),形成了集MEMS芯片設(shè)計研發(fā)、工藝加工、封裝測試、產(chǎn)品應(yīng)用等為一體的綜合性研發(fā)產(chǎn)業(yè)基地,MEMS芯片產(chǎn)業(yè)已經(jīng)成為引領(lǐng)區(qū)域高質(zhì)量發(fā)展的“芯”動能。
“芯”動能 布局生態(tài)鏈培育領(lǐng)軍企業(yè)
“淄博的產(chǎn)業(yè)布局在不斷向信息化、自動化的方向發(fā)展,MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展將在淄博未來發(fā)展中占據(jù)非常重要的位置,也將發(fā)揮更大的作用。”中國工程院院士、清華大學(xué)副校長尤政在今年5月22日至23日舉行的第二屆中國(淄博)MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展高峰論壇上,對近年來淄博的MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展和投資環(huán)境給予了充分肯定。
由12名國際知名MEMS專家組成的淄博高新區(qū)MEMS研究院專家委員會
栽下梧桐樹,引來金鳳凰。近年來,淄博高新區(qū)不斷布局MEMS產(chǎn)業(yè)生態(tài)全鏈條,MEMS園區(qū)6英寸的生產(chǎn)制造平臺為企業(yè)提供研發(fā)支持,MEMS專家委員會為企業(yè)提供技術(shù)方面的支持,產(chǎn)業(yè)加速器為企業(yè)提供小批量化、專業(yè)化的支持,園區(qū)成立的半導(dǎo)體基金為企業(yè)提供資金方面的支持,“淄博高新區(qū)盯緊整個MEMS產(chǎn)業(yè)鏈,本著打造生態(tài)沿鏈聚集的方式,為入駐MEMS園區(qū)的企業(yè)提供全生態(tài)的服務(wù),讓企業(yè)拎包入駐,發(fā)展無后顧之憂。”淄博高新區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園管委會主任牟向峰告訴記者。
目前,MEMS產(chǎn)業(yè)園已有6個高端產(chǎn)業(yè)項目和90余家企業(yè)入園發(fā)展,“這里的資源和政策對我們企業(yè)的發(fā)展和新產(chǎn)品的開發(fā)營造了一個非常好的沃土。”山東佰測傳感科技股份有限公司是首批入駐MEMS產(chǎn)業(yè)園的企業(yè),總經(jīng)理丁立新說,選擇落戶淄博高新區(qū)MEMS產(chǎn)業(yè)園,正是看中了MEMS研究院的科技優(yōu)勢,以及淄博高新區(qū)雄厚的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和完備的產(chǎn)業(yè)鏈條。
MEMS產(chǎn)業(yè)園正在形成良好的產(chǎn)業(yè)生態(tài)體系,這里將聚集更多MEMS產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè),并向全國輻射。
“芯”未來 開啟推動產(chǎn)業(yè)升級強力引擎
MEMS展廳內(nèi)展示的園區(qū)企業(yè)產(chǎn)品
在今年2月份的淄博市重大項目集中開工儀式上,北京綠能芯創(chuàng)碳化硅芯片項目尤為引人矚目,該項目建設(shè)的6吋碳化硅芯片生產(chǎn)線,總投資20億元,是世界第三條,也是國內(nèi)第一條達到量產(chǎn)規(guī)模的碳化硅芯片產(chǎn)線。
“作為科技型企業(yè),我們最關(guān)心的就是投資環(huán)境,在淄博考察后發(fā)現(xiàn)淄博高新區(qū)的相關(guān)配套設(shè)施,上下游產(chǎn)業(yè)、資金以及各方面的人才扶持政策都非常到位,這是我們落戶淄博的最主要原因。”淄博綠能芯創(chuàng)電子科技有限公司董事長陳本昌對記者說,目前該項目正在建設(shè)當(dāng)中,預(yù)計今年年底將投入生產(chǎn),投產(chǎn)后,產(chǎn)值可達到30億并聯(lián)合國內(nèi)的上下游企業(yè)、高校院所等單位,輻射國內(nèi),帶動超過千億的產(chǎn)業(yè)鏈。
建筑面積33.5萬平米的MEMS產(chǎn)業(yè)基地二期項目正在建設(shè)當(dāng)中
目前,建筑面積33.5萬平米的MEMS產(chǎn)業(yè)基地二期項目正在建設(shè)當(dāng)中,共建設(shè)6棟廠房,1、2號廠房今年7月底已經(jīng)竣工,剩余廠房將于今年年底前竣工。已簽約的新科實業(yè)(TDK)、綠能芯創(chuàng)、宏榮電子、深圳麥姆斯、思科萊斯、航天四十四所等6個高端產(chǎn)業(yè)項目即將入駐,預(yù)計項目建成后可實現(xiàn)年產(chǎn)值232億元。
建成后的MEMS產(chǎn)業(yè)園將成為淄博現(xiàn)代信息產(chǎn)業(yè)的聚集區(qū),成為集MEMS器件設(shè)計、制造、封裝、測試、系統(tǒng)應(yīng)用于一體的國內(nèi)一流產(chǎn)、學(xué)、研、用結(jié)合的新產(chǎn)業(yè)生態(tài),打造全球領(lǐng)先的國際化MEMS產(chǎn)業(yè)示范基地和千億級產(chǎn)業(yè)園區(qū),成為推動淄博產(chǎn)業(yè)升級的強力引擎。 |